销售与支持
节省时间. 休息一下

当您需要半导体工具设置和维护过程中最高效和有效的测量设备时, 指望赛博光学, 无线半导体测量设备的全球市场领导者, 振动, 空气颗粒测量和相对湿度.

半导体晶圆厂和原始设备制造商重视精度, ReticleSense测量产品组合的精度和多功能性，可提高晶圆厂产量和设备正常运行时间.

 

半导体产品系列手册

节省时间 & 费用

  • 提高产量，增加工具的正常运行时间
  • 提高吞吐量
  • 减少资源需求
  • 测速设备设置, 维护周期, 故障, 确认并交付生产
  • 加速刀具的优化、稳定化和标准化
  • 简化生产流程
  • 建立可重复和可验证的标准

APS技术

APS3技术, 经过验证的APS的扩展, 在同一设备中集成大颗粒和小颗粒测量功能, 现在更薄更轻了.

 

APS3技术使设备工程师能够缩短设备认证时间, 发布到生产和维护周期, 同时减少开支. 客户可以节省高达88%的时间, 与传统的表面扫描晶圆相比，APS的成本降低了95%，吞吐量提高了20倍，所需人力减少了一半.

Time

减少88%的人力

费用

成本降低95%

吞吐量

20倍

ATSR

ReticleSense®自动教学系统™(ATSR)

  • 快速教授准确的晶圆和网线切换校准，以正确对准和设置半导体工具.
  • “看到”工具内捕获三维偏移数据(x, Y和z)实时快速教晶圆和网线转移位置-所有不需要打开工具.
  • 进行可重复和可复制的设置和维护检查, 加快故障排除，消除技术人员之间的差异.
  • 包括CyberSpectrum™软件.
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Apsr / apsrq

ReticleSense®机载粒子传感器™(APSR/APSRQ)

  • 快速监测，识别并排除空气中颗粒的故障
    0.在半导体工艺设备和
    自动化物料搬运系统.
  • 很容易识别颗粒产生的时间和地点
    并实时测量清洁调整和维修的有效性.
  • 包括CyberSpectrum™软件.
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AMSR

ReticleSense®自动多传感器™(AMSR)

  • 无线测量速度设备认证.
  • 缩短设备维护周期，具有类似于网线的外形因素.
  • 降低设备维护费用，通过客观和可重复的数据提高工艺一致性.
  • 包括CyberSpectrum™软件.
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