• WaferSense APS是晶圆状的, 无线传感系统，设计用于通过半导体工艺设备和自动化材料处理系统来监测和计数系统内的空气传播颗粒.
• 空气粒子传感器实时监测过程工具内的空气粒子
• FOUP, EFEM，机器人，纺纱机，板…几乎任何晶圆片去的地方
• 更快地鉴定工具，以提高生产力

• 类似晶圆的外形有助于缩短设备维护周期
• 更快完成工具资格认证
• 减少了分区和故障排除时间
• 与“原位”系统相比，由于APS不是固定的，可以移动到工具的多个区域，而不是与工艺室隔离，因此使用更少的监控晶圆
• 在粒子“实时”出现的时间和地点找到它们
• 无线粒子测量速度设备鉴定
• 客观、可重复的数据有助于降低维护费用和维护计划

• 当在ParticleView中按下“开始”按钮时, APS中的风扇使空气通过内部腔室，经过激光器和探测器.
• APS使用光散射技术来探测气体或气流中的粒子. 当激光击中粒子时, 一些光被散射到探测器中, 哪一种会对粒子信号进行计数并将它们分类到通道中.
• 粒子数据被无线发送到运行在笔记本电脑或系统控制台上的ParticleView应用软件，在那里粒子大小和计数信息被处理, 显示和存储.

• APS不打算取代颗粒监测晶圆.
• APS传感器使用户能够看到工具中空气中的颗粒可能污染晶圆片的位置.
• 合格清洁工具的基线可用于确定合格工具是否实际上“足够好”以运行监测晶圆，从而节省颗粒扫描仪和合格工具的工具时间.
• APS可用于识别可以立即解决的不良情况，而无需发送监视晶片进行扫描, 从而节省大量的时间和金钱.

• 传统的监控晶圆片提供晶圆上颗粒的大小和位置信息, 但它们不能直接给出工具颗粒落在晶圆片上的位置的信息
• WaferSense APS传感器可以通过过程设备的大多数站点进行运输和定位. 每个站点和连接路径上的粒子计数可以帮助设备工程师快速定位粒子来源的时间和地点，以及当时发生的情况!

APS采用几种方法和技术来防止交叉污染, 其中包括但不限于以下内容:

• 在APS制造过程中，APS外壳被清洁到半导体行业标准. 建议在每次使用前对APS外部进行IPA擦拭.
• APS在空气出口前有一个过滤器，以在进入APS之前捕获进入APS的颗粒. 出口滤波器可以在澳门新葡京手机版工厂更换.
• APS可以使用其现场清洁单元充电和存储箱来监控其自身的排气，并验证APS排气是清洁的.

APS检测并计数粒子至0.15微米

APS有以下型号可选:

0105选项:100nm至500nm和500nm两个通道 & 更大的

• APS气流为0.1个大气压下每分钟1立方英尺
• 在1个大气压下，APS每10分钟抽取1立方英尺的空气
• 每小时6立方英尺

内部工作温度为15℃至45℃，可长期使用

•APS是真空兼容的，在真空下暴露在腔室中不会损坏. 然而，为了计数粒子，APS将需要至少为0的压力.4个大气压供风扇移动粒子通过APS探测器区域.

•当真空室用清洁干燥的氮气部分或全部排气时, APS可以完成它的工作，并且腔室可以保持密封和清洁.

•APS工作压力为0.4 to 1.6个大气压的空气或惰性气体.

•APS不允许在有毒或腐蚀性气体中操作.

APS使用NIST可追溯聚苯乙烯乳胶球根据ISO 21501-4:2007(E)进行校准, 其中定义了用于校准和验证空气中粒子计数器的参数和方法.

•计数效率由ISO 21504 -4定义为测试仪器的计数除以参考仪器的计数.

•APS计数效率 .1µm .14µm最大可达30%

•APS计数效率 .15µm将符合ISO 21504 -4标准的30%至70%

•根据ISO 21504 -4，较大信道的APS计数效率将达到70%至130%

除了APS记录的用于ParticleReview读取器回放的数据, 它也可以创建一个 .CSV文件时可以导出到任何支持 .CVS文件格式.

•APS应每年在工厂进行校准，以确保设备符合规范

•电池更换包含在每年的工厂校准中

•如果自上次校准传感器以来已经过了12个月以上, 我们建议您联系技术支持，安排退回APS设备进行工厂校准验证.

•当放置在一个已知的无颗粒区域，如ISO 2级或更高, APS累计粒子计数率应小于APS误计数率.

•当APS和参考仪器采样相同的气流时, APS计数效率将在数据表中指定.

•APS通常从1到1运行.在测量模式下充满电5小时.e. 风扇和激光器打开)在待机模式下长达12小时.e. 开机，但风扇和激光器关闭)

是的. 每当你记录粒子测量，你只需点击“开始”.’

•粒子密度模式将粒子信号分类到垃圾箱中，并显示每个用户可选择的体积的计数.

•粒子频率模式将粒子信号分类到垃圾箱中，并显示每分钟的原始计数.

•累积计数是颗粒计数与尺寸大于或等于通道大小的数量.

•微分计数是在特定通道内计数的粒子数量.

•所有差分通道计数的总和将等于最小通道的累积计数.

•当两个或两个以上的粒子同时通过激光束时，只计算一个. 当这种情况发生时，ParticleView会照亮重合指示器.

•当APS用于计算普通房间空气中的颗粒时，会发生巧合. APS针对清洁环境进行了优化.

理想情况下，晶圆位于半导体设备站和机器人末端执行器的中心. 美国胸科协会教学晶圆模拟硅片并测量其中心与设备站和/或末端执行器的可见特征之间的距离.

美国胸科协会内部向下看的摄像机首先获取空间站的图像. 然后，美国胸科协会使用模式识别软件来检测和定位被称为目标的圆形特征. 最后，美国胸科协会利用星载标定数据计算出x, y, 以及美国胸科协会传感器晶圆几何中心到目标中心的z轴偏移量. 偏移量通过TeachView软件以数字和图形方式显示. 技术人员可以调整自动化系统，使晶圆在每个工位都能精确地、可重复地居中.

目标是半导体设备站可见的圆形特征. 例如，目标可以是支撑销、排气孔或对准孔. 目标是永久性的，不会随着时间的推移而改变大小、外观或位置.

美国胸科协会传感器晶片使用的模式识别软件“期望”遇到目标，作为车载摄像头收集的图像数据的一部分. 目标对于确定某个设备站相对于美国胸科协会传感器晶圆的位置至关重要. 当目标位于设备站的中心时, 技术人员可以方便地移动机器人，直到x-y偏移量足够接近零. 如果你的目标不在中心位置，你仍然可以使用美国胸科协会来训练你的设备. 请联系技术支持获取更多信息.

由于设备站上的大多数目标都是圆形的，因此美国胸科协会设计用于寻找圆形目标. 圆形目标无论方向或美国胸科协会都是一样的. 即使图像中只有一部分目标，也可以准确地找到圆形目标. 最佳目标直径取决于距离美国胸科协会传感器底部的距离. 目标直径通常在3毫米到10毫米之间.

传统的教学方法包括使用销钉和有线“晶圆上相机”系统的机械夹具. 传统的方法需要设备冷却并部分拆除. 这些方法有许多缺点, 比如电线断了, 耗时的设置和缺乏数字输出.晶圆状和无线, 美国胸科协会消除了从生产就绪状态中断设备的需要, 从而大大减少了验证正确教学或进行调整所需的时间. 此外，它提供偏移数据，可以提高您的工艺再现性和产量.

WaferSense 美国胸科协会教学晶圆有两种尺寸:200mm、300mm和450mm.

美国胸科协会教学晶片由碳纤维衬底制成，表面涂有环氧树脂薄膜. 晶圆片的顶部覆盖有聚碳酸酯标签.

偏移量数据通过连接到USB端口的无线链路传输到计算机. 每个美国胸科协会晶片都是配对的，并将通过蓝牙通信协议与无线链路进行通信. 该协议在以2为中心的频带中使用射频能量.4 GHz.

美国胸科协会测量对目标6的补偿.教学晶片以下5mm - 45mm.

是的. 类似晶圆的外形因素和边缘轮廓允许美国胸科协会设备作为晶圆被各种机器人手臂处理.

是的. 晶圆状的外形使得美国胸科协会设备可以用机械臂从载体上拿起, 放置在校准台上的, 然后以晶圆的形式在半导体设备内部循环. 大多数负载锁，狭缝阀和过程室容易容纳美国胸科协会教学晶圆. 美国胸科协会提供技术人员验证或调整晶圆传送机器人坐标所需的客观反馈.

是的. 美国胸科协会报告x, y和z偏移量. 当机器人末端执行器将美国胸科协会教学晶片置于目标上方时，报告的z偏移量表示从美国胸科协会晶片到目标平面的距离. 当休息在高架销, 报告的z偏移量表示美国胸科协会晶圆到底座/板的距离. 测量精度:±0.1 mm (±0.004″)为x-y和±0.5 mm (±0.02″)为z.

是的. 当美国胸科协会晶圆的内部温度在20°C和50°C之间时，美国胸科协会晶圆提供最精确的偏移测量. 然而, 当暴露在温度高达120°C的空气中时，美国胸科协会传感器晶片将在短时间内(通常少于5分钟)安全运行. (美国胸科协会传感器硅片不应放置在温度超过75℃的表面上.)将美国胸科协会暴露在导致其内部温度超过80°C的环境中，将对设备外壳内的电子设备造成不可逆转的损坏

是的. 美国胸科协会教学晶片可以在从常压到超高真空的各种压力下安全使用.

每个美国胸科协会晶圆都配有一个特别适应的单独晶圆载体，以保护其在运输过程中并帮助对电池充电. 只需将晶圆片放回其载体，然后通过所提供的充电适配器将其连接到电源插座上. 虽然电池需要两个小时才能充满电, 80%的费用将在第一个小时内使用.

你们的教学晶圆片提供从出厂校准起至少12个月的准确偏移数据. 晶圆片的最后校准日期被印在贴在电子外壳顶部的标签上. 当TeachView软件运行时，访问“帮助”菜单下的“关于您的美国胸科协会晶圆”选项将为您提供此信息. 美国胸科协会, 像任何测量仪器一样, 是否应定期检查以确认其测量是否准确. 如果距离您的传感器上次校准已超过12个月, 我们建议您联系技术支持，以便安排退回您的美国胸科协会设备进行工厂校准验证.

澳门新葡京手机版 半导体是唯一被授权进行美国胸科协会校准验证的机构, 美国胸科协会电池更换, 以及产品和零件的维修. 为美国胸科协会提供的校正服务包括更换电池, 验证测量精度, 并向用户出具校准证书. 在适当的时候, 对教学晶圆片不符合规定性能的补救措施提出了建议.

该TeachView软件(提供与美国胸科协会)为用户提供了一个简单的方法来记录偏移量(x, Y和z)与晶圆片位置相关. 突出的“记录读数”按钮可以随时按下记录显示的偏移量.

可以从默认的CSV(逗号分隔值)文件中检索用TeachView记录的数据. Microsoft Excel(以及其他可以导入CSV文件的应用程序)可用于以表格或图形格式显示数据. 然后，您可以使用统计处理工具(例如.e.、趋势分析、统计过程控制等.)来描述您的设备行为并提高产量.

美国胸科协会晶圆采用蓝牙通信技术，通过链路盒将偏移数据中继到PC机. 蓝牙通信使用2.4 GHz频段.

美国胸科协会教学晶圆比硅晶圆更耐用. 它是一种敏感的电子测量仪器，应小心处理. 例如, 请避免与硬物碰撞, 特别是那些可能划伤镜片或破坏晶圆片底部表面的照明器的地方.

No. 请联系技术支持，索取一份我们的排气测试报告.

No. 请联系技术支持，索取一份我们的颗粒测试报告.

澳门新葡京手机版 半导体在清洁的环境中组装每个美国胸科协会之前，将美国胸科协会的每个组件清洁到半导体行业标准. 清洁:保持这种程度的清洁, 我们建议用半导体级异丙醇擦拭设备的外部以及充电盒的内部和外部.

AVS可用于测量晶圆在运输或加工过程中所经历的振动. 例如, WaferSense AVS的典型应用是测量在工艺阶段和通过工艺工具运输晶圆的操作过程中所经历的振动.

AVS采用三台微机电系统(MEMS)来测量晶圆片正交轴的加速度. 三个MEMS器件中的每一个都测量放置在相反极性的固定极板之间的移动证明质量的差分电容. 电容随加速度的变化而变化. 三个电极的差分电容由模数转换器测量. 专有技术用于将MEMS读数准确转换为以地球重力表示的加速度.

AVS测量的振动范围为- 2g至+ 2g.

AVS分辨率为+/-0.01 G.

AVS可以在20ºC到70ºC的温度下精确工作.

美国胸科协会测量对目标6的补偿.教学晶片以下5mm - 45mm.

是的. WaferSense设备专门设计用于从封闭的工具和腔室进行通信.

AVS设计用于所有半导体工具. AVS就像一个晶圆一样，可以通过工具自动化运输到所有工具和运输地点. 使用AVS的常见示例包括:扩散，FI, OHT，计量.

是的. 与晶圆制造厂使用的任何测量仪器一样, AVS需要定期校准，以确保持续符合规范. 我们建议您每年将AVS设备送回工厂更换电池, 校正及重新认证. 请联系技术支持安排.

No. 我们建议您每年将AVS设备送回工厂更换电池, 校正及认证.

AVS由可充电电池供电，保质期为10年. 在高于80°C的温度下存储和/或操作AVS电池将降低电池可容纳的电量. AVS电池温度不应超过100℃. 电池不能由用户维修. 在校准服务期间更换.

你们的传感器在工厂校准后大约12个月内提供最准确的倾角数据. 传感器的最后一次校准日期被印在贴在凸起电子外壳侧面的标签上. 当VibeView软件运行时，访问“帮助”菜单下的“关于您的AVS晶圆”选项将提供此信息.

如果距离您的传感器上次校准已超过12个月, 我们建议您联系技术支持，安排将AVS设备送回工厂进行校准.

如果您怀疑您的WaferSense设备被误用或损坏, 请联系技术支持，帮助您将您的WaferSense设备送回工厂进行维修和/或校准服务.

VibeView软件应用程序实时监控和记录振动信息. VibeView允许您播放振动日志文件记录在VibeView.

是的. 当你想记录振动数据时, 在VibeView只需点击“开始”在“记录数据”部分.

是的, in VibeView -> Settings -> Options select “Record CSV files too” and a .CSV文件将被创建 .Avsdata记录的数据文件.

AVS晶圆采用蓝牙通信技术，通过链接盒将振动数据中继到PC机. 蓝牙通信使用2.4 GHz频段.

WaferSense Link已经过测试，符合B类数字设备的限制, 根据FCC规则第15部分. 这些限制是为了在住宅装置中提供合理的保护，防止有害干扰. 我们不知道在任何情况下，来自共享频谱中的其他设备或与其他设备的不希望的无线电干扰已经成为WaferSense设备的问题.

AVS晶圆比硅晶圆更耐用. 它是一种敏感的电子测量仪器，应小心处理. 例如，请避免跌落或与装载舱门等硬物碰撞.

No. 请联系技术支持，索取一份我们的排气测试报告.

No. 请联系技术支持，索取一份我们的颗粒测试报告.

澳门新葡京手机版 半导体在清洁的环境中组装每个AVS之前，将AVS的每个组件清洁到半导体行业标准. 清洁:保持这种程度的清洁, 我们建议用半导体级异丙醇擦拭设备的外部以及充电盒的内部和外部.

错误信息“FTD2XX.“DLL丢失”有两种可能的原因之一:

1. 在将链接模块插入其USB电缆之前，已执行VibeView.

2. VibeView已经被执行，但是link模块的驱动程序还没有被加载.

澳门新葡京官方网址2:

将链接模块插入USB连接线并插入计算机. Then run VibeView; you should not see the error message. 如果仍然得到错误消息，则可能没有加载link模块的驱动程序. 再次运行安装.

确认链路模块的电源指示灯亮起. 只有满足以下两个条件时，链路模块上的电源LED才会亮起:

1. 必须加载驱动程序.

2. USB线缆必须连接到UPS集线器/端口上.

加载驱动程序:

驱动程序是通过加载随WaferSense设备附带的CD中的软件来加载的. link模块和WaferSense单元上的Pair状态和Connection状态都应该是亮的(红色)。. 如果没有，则可能需要配对.

配对:

1. 确保驱动程序已加载.

2. 连接link模块至UPS供电端口. 不启动VibeView应用程序，直到单位配对.

3. 确保绿色电源LED灯亮.

4. 按下链接模块右侧的新配对按钮，按住10秒后松开. Pair状态和连接状态指示灯应快速闪烁. 此时连接状态指示灯熄灭，Pair指示灯继续缓慢闪烁. 这表明该链接现在正在寻找与之配对的WaferSense单元.

5. 现在打开WaferSense ALS并按下单元上的新配对按钮. 保持10秒，然后放松. pair状态和连接状态指示灯应快速闪烁. 此时连接状态指示灯熄灭，Pair指示灯继续缓慢闪烁. 这两个单位可能需要20秒才能最终配对. 连接完成后，Pair状态和连接状态指示灯都应该是亮的(红色实线)。. 如果单元不配对，关闭WaferSense单元并重复步骤5.

6. 一旦单元配对，您可以启动WaferSense软件应用程序.

可能的原因:

PC电池电源选项:

我们发现，这取决于PC和/或PC的电池资源设置, 在某些情况下，电脑可能需要几毫秒的时间来“查询”USB端口，以节省电量, 尤其是当电脑电池电量不足时. 它询问USB端口，然后关闭它们，然后再打开，看看它们是否连接到任何东西. 当这种情况发生时，WaferSense可能会失去连接，并且可能需要长达40秒的时间才能重新建立连接.

故障排除和/或澳门新葡京官方网址2:

•尝试使用交流电源运行PC.

•进入PC的电源选项，将PC设置为“最高系统性能:”，看看这是否解决了PC在电池供电时的问题.

•在充满电的电池上运行AVS和笔记本电脑.

坏或片状USB端口.

故障排除和/或澳门新葡京官方网址2:

•尝试不同的USB端口.

•确认USB线缆连接是否牢固.

•换一台电脑.

链接盒与WaferSense晶圆的邻近和/或位置.

故障排除和/或澳门新葡京官方网址2:

•将Linkbox移动到离AVS晶圆更近的位置.

•如果存在腔窗或其他工具位置，则AVS可能会更好地从工具中传输出去, 尝试移动链接的物理位置. 有时，只需将链接移动到不同的位置就可以解决连接问题.

WaferSense晶圆或WaferSense链接盒或AVS晶圆问题.

故障排除和/或澳门新葡京官方网址2:

•交换链接-问题是否跟随链接?

•更换硅片-问题是否随硅片发生?

电容与两个极板之间的距离成反比. AGS测量AGS顶部表面上的板与由喷头组成的“板”之间的电容. AGS内部的微型计算机利用存储的校准数据和实时传感器温度数据将电容测量转换为间隙测量.

当两个表面之间的距离一定时，它们是平行的. AGS向用户显示三个间隙. 当三个间隙在用户指定的公差范围内相同时，表面平行.

AGS设计用于测量从9毫米到20毫米(0.35” to 0.79”).

AGS并行度精度为0.025mm (±0.001”)，间隙精度为0.25mm (±0.01 ")，间隙为15mm (0.6″).

AGS将在20ºC至80ºC的温度下精确运行.

是的. AGS设备可以在从常压到超高真空的压力范围内使用.

AGS设计用于具有平行板的半导体工具，其中顶板是导体. 例子有:

应用生产者PECVD
材料向量
ASM Eagle 12

AGS可能提供其他腔室的有用信息. 请联系技术支持获取最新信息.

是的. 与晶圆制造厂使用的任何测量仪器一样, AGS需要定期校准以确保持续符合规范. 我们建议您每年将AGS设备送回工厂更换电池, 校正及重新认证. 请联系技术支持安排.

No. 我们建议您每年将AGS设备送回工厂更换电池, 校正及认证. 当然，您可以将AGS放置在已知的间隙中以验证测量结果.

AGS由可充电电池供电，保质期为10年. 在500次完全充放电循环后，电池能够存储至少80%的原始功率. 在高于80°C的温度下储存和/或操作AGS电池将降低电池可容纳的电量. AGS电池温度不应超过100℃. 电池不能由用户维修. 在校准服务期间更换.

是的. 每当你想记录阅读，只需点击“记录阅读”.以这种方式，任何数量的读数都可以记录到CSV(逗号分隔值)文件中.

澳门新葡京手机版 半导体在清洁的环境中组装每个AGS之前，将AGS的每个组件清洁到半导体行业标准. 清洁:保持这种程度的清洁, 我们建议用半导体级异丙醇擦拭设备的外部以及充电盒的内部和外部.

ALS2垂直和水平水平仪用于测量和调整盒式磁带的倾斜度, foup, 最终效果器, 负载锁, 转移针, 工艺室室基座充分表征所有晶圆厂生产和运输设备.

默认情况下, 传感器指示高度偏离, 俯仰和翻滚, 相对于垂直于地球引力方向的平面(绝对测量). 可以通过LevelView™软件指定不同的平面，并用于参考倾角数据(相对测量)。.

新的ALS2/ALS2V版本的我们的WaferSense流平晶圆有很多优点:

• 薄6.3毫米的设计. 可以使用更多的工具，自动进入更多的地方.
• 新型碳纤维复合材料外壳. 更薄、更干净、更坚固. 能用静电卡盘夹紧吗.
• 垂直倾角测量. 允许垂直离子植入和湿站对齐.
• 更大的水平操作范围. 测量更陡峭倾斜的底座，特别是在镀铜区域.
• LevelView 2.0精简的应用程序GUI.  更容易使用GUI. 平板电脑友好.
• 坡度和极坐标显示选项可与LevelView 2.0.  更多的输出选项，便于使用.

ALS2V使用三个MEMS(微机电)来测量X、Y和Z轴的倾角. ALS2V可以测量相对于地球重力或相对于参考平面的倾斜度.

ALS2水平倾角精度为+/-0.在+/-7范围内的03度.0度. ALS2垂直倾角精度为+/-0.+/-50范围内的05度.0度.

ALS2/ALS2V水平分辨率精度为+/-0.002度在+/-14度范围内.0度. ALS2V垂直倾角分辨率为+/-0.+/-50范围内01度.0度.

ALS2/ALS2V将在20ºC至70ºC的温度下精确工作.

是的. ALS2装置可以在从常压到超高真空的压力范围内使用.

是的. WaferSense设备专门设计用于从密封工具和封闭真空室中进行通信.

是的. ALS2/ALS2V设计用于所有半导体工具. ALSS2像晶圆一样处理，可以通过工具自动化运输到所有工具和运输地点. 使用ALS2的常见例子包括:
•扩散
• FI
•OHT
•计量
•CVD / PVD /腐蚀
•照片

请联系技术支持获取最新信息.

是的. 与晶圆制造厂使用的任何测量仪器一样, ALS2需要定期校准以确保持续符合规范. 我们建议您每年将您的ALS2设备送回工厂更换电池, 校正及重新认证. 请联系技术支持安排.

ALS2由可充电电池供电，保质期为10年. 在高于80°C的温度下储存和/或操作ALS2电池将降低电池可容纳的电量. AVS电池温度不应超过100℃. 电池不能由用户维修. 在校准服务期间更换. 通常一个功能良好的ALS2电池在充满电的情况下可以持续4到5个小时.

你们的传感器在工厂校准后大约12个月内提供最准确的倾角数据. 传感器的最后一次校准日期被印在贴在凸起电子外壳侧面的标签上. 同时访问“帮助”菜单下的“关于LevelView”选项，而LevelView软件正在运行将提供此信息.

如果距离您的传感器上次校准已超过12个月, 我们建议您联系技术支持，安排退回您的WaferSense设备进行工厂校准. 如果你只做绝对测量，并且有机会进入公寓, 无振动的水平花岗岩板, 您可以通过测量该测试表面的倾斜度来轻松验证您的设备的功能. 如果板坯是平的和水平的，ALS应该在俯仰和横摇上显示0°的倾斜度.

如果您怀疑您的WaferSense设备被误用或损坏, 请联系技术支持，帮助您将您的WaferSense设备送回工厂进行维修和/或校准服务.

澳门新葡京手机版是唯一被授权进行ALS校准验证的机构, ALS电池更换, 以及产品和零件的维修. ALS的校正服务包括更换电池, 验证传感器精度, 并向用户发布校准信息. 在适当的时候, 对于不能按规定执行的传感器，提出了补救措施的建议.

LevelView软件应用程序实时监控和记录倾角信息. LevelReview应用程序可以让你回放LevelView倾斜日志文件.

是的. 这是通过在LevelView中选择“Log a Reading Now”来完成的.

是的. 所有LevelView日志数据保存在CSV文件中，可以导出到任何支持CVS文件格式的应用程序.

ALS2晶圆采用蓝牙通信技术实现X中继, Y和Z倾斜数据通过链接框传送到PC. 蓝牙通信使用2.4 GHz频段.

WaferSense Link已经过测试，符合B类数字设备的限制, 根据FCC规则第15部分. 这些限制是为了在住宅装置中提供合理的保护，防止有害干扰. 我们不知道在任何情况下，来自共享频谱中的其他设备或与其他设备的不希望的无线电干扰已经成为WaferSense设备的问题.

WaferSense晶圆比硅晶圆更耐用. 它是一种敏感的电子测量仪器，应小心处理. 例如，请避免跌落或与装载舱门等硬物碰撞.

No. 请联系技术支持，索取一份我们的排气测试报告.

No. 请联系技术支持，索取一份我们的颗粒测试报告.

澳门新葡京手机版 半导体在清洁的环境中组装之前，将ALS2的每个组件清洁到半导体行业标准. 清洁:保持这种程度的清洁, 我们建议用半导体级异丙醇擦拭设备的外部以及充电盒的内部和外部.

错误信息“FTD2XX.“DLL丢失”有两种可能的原因之一:
•在将链接模块插入其USB电缆之前，已执行LevelView.
•LevelView已经被执行，但是link模块的驱动程序还没有被加载.

解决方法:将链接模块插入USB连接线并插入计算机. Then run LevelView; you should not see the error message. 如果仍然得到错误消息，则可能没有加载link模块的驱动程序. 再次运行安装.

确认链路模块的电源指示灯亮起. 只有满足以下两个条件时，链路模块上的电源LED才会亮起:
•必须加载驱动程序.
•USB线缆必须连接到UPS集线器/端口上.

加载驱动程序:
驱动程序是通过加载随WaferSense设备附带的CD中的软件来加载的. link模块和WaferSense单元上的Pair状态和Connection状态都应该是亮的(红色)。. 如果没有，则可能需要配对.

配对:
1. 确保驱动程序已加载.
2. 连接link模块至UPS供电端口. 在单元配对之前不要启动LevelView应用程序.
3. 确保绿色电源LED灯亮.
4. 按下链接模块右侧的新配对按钮，按住10秒后松开. Pair状态和连接状态指示灯应快速闪烁. 此时连接状态指示灯熄灭，Pair指示灯继续缓慢闪烁. 这表明该链接现在正在寻找与之配对的WaferSense单元.
5. 现在打开WaferSense ALS并按下单元上的新配对按钮. 保持10秒，然后放松. pair状态和连接状态指示灯应快速闪烁. 此时连接状态指示灯熄灭，Pair指示灯继续缓慢闪烁. 这两个单位可能需要20秒才能最终配对. 连接完成后，Pair状态和连接状态指示灯都应该是亮的(红色实线)。. 如果单元不配对，关闭WaferSense单元并重复步骤5.
6. 一旦单元配对，您可以启动WaferSense软件应用程序.

可能的原因:
PC电池电源选项:
我们发现，这取决于PC和/或PC的电池资源设置, 在某些情况下，电脑可能需要几毫秒的时间来“查询”USB端口，以节省电量, 尤其是当电脑电池电量不足时. 它询问USB端口，然后关闭它们，然后再打开，看看它们是否连接到任何东西. 当这种情况发生时，WaferSense可能会失去连接，并且可能需要长达40秒的时间才能重新建立连接.
故障排除和/或澳门新葡京官方网址2:
•尝试使用交流电源运行PC.
•进入PC的电源选项，将PC设置为“最高系统性能:”，看看这是否解决了PC在电池供电时的问题.
•在充满电的电池上运行ALSS2/ALS2V和笔记本电脑.

坏或片状USB端口.
故障排除和/或澳门新葡京官方网址2:
•尝试不同的USB端口.
•确认USB线缆连接是否牢固.
•换一台电脑.

链接盒与WaferSense晶圆的邻近和/或位置.
故障排除和/或澳门新葡京官方网址2:
•移动Linkbox物理上更靠近ALS2/ALS2V晶圆的位置.
•如果存在腔窗或其他工具位置，则ALS2/ALS2V可能会更好地从工具中传输出去, 尝试移动链接的物理位置. 有时，只需将链接移动到不同的位置就可以解决连接问题.

wafer /ALS2 /ALS2V晶圆问题.
故障排除和/或澳门新葡京官方网址2:
•交换链接-问题是否跟随链接?
•更换硅片-问题是否随硅片发生?

渐冻人装置采用两个电解测斜仪，它们彼此成直角安装. 每个测斜仪输出的电压转换成俯仰和横摇倾角数据.

默认情况下, 传感器指示高度偏离, 俯仰和翻滚, 相对于垂直于地球引力方向的平面(绝对测量). 可以通过LevelView™软件指定不同的平面，并用于参考倾角数据(相对测量)。.

产品线包括晶圆式(WaferSense)和十字线式(ReticleSense)倾角测量装置. 晶圆状器件有三种尺寸可供选择:150mm(6″), 200 mm (8″), 300mm(12″)和450mm(18″). 这种类似十字线的装置有一种尺寸:150毫米(6″)。.

所有WaferSense ALS设备均由铝制(主体)制成，并带有聚碳酸酯标签. 晶圆状器件可采用化学镀镍或黑色阳极氧化处理. ReticleSense设备可提供黑色阳极氧化处理.

倾角数据通过连接到USB端口的无线链接盒传输到计算机. 每个ALS传感器都是配对的，并将通过蓝牙通信协议与无线链接盒进行通信. 该协议采用2左右频带的无线电通信.4 GHz.

是的. 蓝牙通信协议在两个设备之间建立一个唯一的通道. ALS设备和链接盒都可以同步或重新同步，以便在现场进行通信, 链接框一次只接收一个ALS设备的数据. 链路和传感器都不能与任何其他启用蓝牙的设备通信.

是的. 晶圆状的外形使得ALS设备可以被各种机械臂当作晶圆来操作.

是的. 晶圆状的外形使得ALS设备可以从载体(例如:半导体)中拾取.g. 磁带或FOUP)与机械臂, 放置在校准台上的, 然后以晶圆的形式在半导体设备内部循环. 负载锁和处理室可以很好地容纳ALS设备, 如果需要，它允许实时测量和调整.

No. ALS设计用于测量基于参考平面的俯仰和横摇倾角. ALS cannot measure vibrations directly; however, 在使用过程中，您可能会注意到该设备可以检测到由于振动而导致的平面倾斜度变化. 所用的电解倾斜仪也不适用于测量加速度.

是的. ALS设备在20°C至30°C的温度范围内提供最精确的倾角测量. 然而, 该装置将安全运行, 精度稍有降低, 当暴露在高达70℃的温度下时.

所有测量都经过仔细的温度补偿，因此传感器内部温度的变化不会影响测量的倾角数据. 将ALS长时间暴露在高于70°C的温度下会对设备外壳内的电子设备造成不可逆转的损坏.

是的. ALS装置可以在大气压到10-6托的压力范围内安全使用.

每个ALS设备都配有一个透明的翻盖式外壳，以保护设备在运输过程中，并帮助电池充电. 只需将设备放回机箱并用锁紧螺栓固定即可. 接下来，通过所提供的充电适配器将外壳与电源插座连接. 虽然电池需要两个小时才能充满电, 80%的电量将在第一个小时内使用.

你们的传感器在工厂校准后大约12个月内提供最准确的倾角数据. 传感器的最后一次校准日期被印在贴在凸起电子外壳侧面的标签上. 同时访问“帮助”菜单下的“关于LevelView”选项，而LevelView软件正在运行将提供此信息.

如果距离您的传感器上次校准已超过12个月, 我们建议您联系技术支持，安排退回您的ALS设备进行出厂校准. 如果你只做绝对测量，并且有机会进入公寓, 无振动的水平花岗岩板, 您可以通过测量该测试表面的倾斜度来轻松验证您的设备的功能. 如果板坯是平的和水平的，ALS应该在俯仰和横摇上显示0°的倾斜度.

然而, 如果您怀疑误用或损坏, 澳门新葡京手机版可以验证, 要求, 在设备的整个工作范围内，您的单元的精度. 请联系技术支持，帮助您将ALS设备送回工厂进行校准服务.

澳门新葡京手机版是唯一被授权进行ALS校准验证的机构, ALS电池更换, 以及产品和零件的维修. ALS的校正服务包括更换电池, 验证传感器精度, 并向用户发布校准信息. 在适当的时候, 对于不能按规定执行的传感器，提出了补救措施的建议.

替换ALS设备外壳中包含的大多数电子元件是可能的和实用的, 除了电解测斜仪. 电解测斜仪或ALS设备金属外壳完整性的损坏是无法修复的. 此时需要获取新的传感器.

ALS提供的LevelView软件提供两种选项来记录设备测量的倾角数据:单数据点和连续数据点. 通过选择适当的复选框并指定间隔，可以轻松地在两者之间切换, 你可以设置为每秒一次到每60分钟一次.

使用LevelView记录的数据可以从默认的CSV(逗号分隔值)中检索。. 可以使用Microsoft Excel显示这些数据并对其进行处理，以区分趋势或与倾斜度相关的其他信息. LevelView可以通过在实时显示和记录数据之间切换，以图形格式检索以前记录的数据(使用左上角按钮和通知连接状态图标和日志阅读图标切换).

是的. 传感器采用蓝牙通信协议，通过链接盒将倾角数据中继到笔记本电脑. 蓝牙通信使用2.4 GHz频段.

ALS设备是一种电子测量仪器，需要像其他电子设备一样进行处理. 例如, 请避免与硬物碰撞, 特别是那些危及设备的平坦支撑表面.

No. 请联系技术支持获取测试报告.

No. 请联系技术支持获取测试报告.

No. 请联系技术支持获取测试报告.

赛博光学半导体在制造过程中尽一切努力清洁ALS水平传感器. 继续保持这种清洁水平, 我们建议用异丙醇或温和的洗涤剂溶液擦拭设备的外部以及充电盒的内部和外部. 肌萎缩侧索硬化症不能承受完全浸泡在清洁溶液中或与强酸溶液接触.